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2018上海复旦大学高分子科学系邓海教授微电子材料课题组招聘博士后公告

作者:小联 来源: 日期:2019-2-13 1:28:51 人气: 标签:复旦高分子课件

  邓海博士,国家千人特聘专家,复旦大学高分子科学系,聚合物分子工程国家重点实验室,教授,博士生导师,曾任美国陶氏化学公司(前身:罗门哈斯公司)高级研究员(1998-2001)、美国英特尔公司高级主管(2001-2014),东京应用化学公司Fellow(2014-2015)。邓海教授拥有丰富的半导体产线和光刻材料的研发经验,并且与国内外半导体厂商关系密切。

  主攻10 nm以下半导体光刻材料的设计合成及应用。课题组受到科技部02专项和上海市科委的大力支持,拥有完善的光刻材料的合成,表征及性能测试平台。课题组主页:

  半导体制造中最关键的材料是光刻胶,杨得志炮轰南阳有多高分辨率的光刻胶就能造出多小的器件。过去的50年内,半导体产业一直沿着Moores law前行。自 2003 年起,半导体产业进入 193 nm 光刻时代,这是国际上最成熟最先进的光刻技术,并将会一直沿用到 10 nm 的光刻工艺。现在,Intel已经实现了10 nm制程的量产。2018年,Intel、台积电和三星微电子都已进入了7 nm分辨率的EUV光刻工艺,并将很快进行量产。面对半导体芯片领域向更小、更快和更高密度方向发展的趋势,下一代 10~5 nm 半导体制程的光刻技术和材料已成为半导体行业的研发热点。 目前国内以中芯国际为代表的半导体工艺研发也进入了14 nm制程,但是国内的光刻材料与全球先进水平相比仍有着极大的差距:国内只能量产低端的i-线年前的产品),国内的光刻胶产业几乎处于空白状态,10 nm以下所需的EUVL和DSA光刻材料,目前被美国和日本企业所垄断。为了不再受制于人,我国急需研发探索10纳米以下的下一代光刻材料来打破了技术壁垒,实现弯道超车。上海市和市现已立项研发10 nm以下分辨率的DSA材料。目前本组已研发出世界上最快速自组装的、5 nm超高分辨率的DSA材料,该已发表在SPIE(美国光电协会)等国际会议上,目前已申请了若干中国及美国专利。

  由于科研工作需要,本课题组招聘博士后研究员1~2名,进行10纳米以下的下一代光刻材料的研究,具体要求如下:.

  1、具有高分子专业(合成)背景、有机全合成背景或有高分子合成研究工作经验的博士(应届的或者有工作经验的)。

  3、需要具有一定的指导学生的能力。将会带领在读的硕士、博士生进行项目攻关,身体力行地带领团队研发出新型的高分辨率DSA或含金属EUV光刻材料。

  课题组为入选者提供优越的科研条件和稳定的支持,按照复旦大学有关博士后的提供相应个人待遇,课题组根据研究进展和贡献给予补贴,年薪18万起。住房:复旦大学根据申请者要求,提供学校附近一室或二室住房,租金约为市场价格一半。

  

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